Методы исследования наноструктур. Виды и принципы работы устройств исследования. Лекция 2.5
Термин «наноэлектроника» связан с термином «микроэлектроника» и отражает переход современной полупроводниковой электроники от элементов с характерным размером в субмикронной области к наноразмерным. В работе элементов таких размеров начинают преобладать квантовые эффекты.
АвторМихаил Путря
Лекции курса
8- Предпосылки возникновения наноэлектроники. Значения термина, основные понятия. Лекция 2.1
- Роль наноэлектроники в современном мире. Лекция 2.2
- Общие принципы работы наноэлектронных устройств. Лекция 2.3
- Явления, характеризующие квантовые эффекты. Лекция 2.4
- Методы исследования наноструктур. Виды и принципы работы устройств исследования. Лекция 2.5▶ Вы тут
- Технологические процессы, используемые для создания объектов наноэлектроники. Лекция 2.6
- Планарная технология. Основные понятия и принципы. Виды литографии. Лекция 2.7
- Создание наноразмерного рисунка в слоях интегральной схемы как основная цель использования технологии литографии. Технологические задачи и методы их решения. Виды травления. Лекция 2.8